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      低溫真空探針臺 手套箱

      低溫真空探針臺可以對器件進行非破壞性的測試,器件的***尺寸可達到51mm(2inch)。它可以對材料或器件的電學特性測量、光電特性測量、參數測量、high Z測量、DC測量、RF測量和微波特性測量提供一個測試平臺。一般來講,納米電子材料、量子線、量子點和半導體材料是在CPX在進行測量的比較典型的材料。系統的探針、測試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇,從而滿足不同用戶的需要。

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      低溫真空探針臺         手套箱

      產品詳情 技術參數

            低溫真空探針臺的溫度變化范圍4.2K到475K,加低溫選件后,溫度可降低到1.5K,加入高溫選件,可提供的溫度變化范圍:20K-675K。系統需要使用液氦或液氮實現變溫,防輻射屏大大降低了黑體輻射,提高了制冷效率。冷頭上安裝兩個加熱器,減小了樣品的溫度梯度,加上防輻射屏上的加熱器,整個系統可以實現快速的變溫。

            低溫真空探針臺最多具有6個可以進行微調整的探針臂,每個探針臂上的探針都可以進行3維方向上的定位。專用的探針根據尺寸和材料不同,分為多種類型,探針減少了熱質量,優化了和器件的電接觸性。每個探針都直接和冷頭進行導熱,這樣就減小了探針對樣品的熱傳遞。

        ●    系統可使用液氮或液氦制冷,基本系統溫度范圍:4.2 K to 475 K

        ●      加入溫度選件,溫度范圍可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K

        ●      樣品臺可進行面內±5°旋轉

        ●      測量DC到67GHz

        ●      ***測試樣品尺寸51mm直徑

        ●      最多可使用6個探針臂

        ●      探針臂傳上安裝溫度感器進行溫度監測

        ●      可提供Load-lock選件

        ●      控溫穩定性:±50mK

        ●      探針臂3軸方向可調節,并可進行面內±5°旋轉

        ●      采用高真空選件,系統真空度可達到10-7 torr

        ●      電纜、屏蔽和Guard保護進一步減少了電噪聲和熱輻射損失

        ●      可提供不同的選件和附件來滿足特定的科研測試需要


      低溫真空探針臺技術參數

      溫度
      溫度范圍標準溫度范圍:4.2K到475K

      低溫選件溫度范圍:1.7K-400K或2K-400K

      高溫選件溫度范圍:20K到675K
      溫度穩定性±50mK
      系統降溫時間
      室溫到10K以內30分鐘
      室溫到1K以內且輻射防護屏達到穩定1小時15分鐘
      加熱器溫度控制
      樣品臺50W
      輻射防護屏2個100W和1個50W
      探針臂只監視溫度
      探針臂行程及分辨率
      X軸51mm(2inch),20μm分辨率
      Y軸25mm (1inch),10μm分辨率
      Z軸18mm (0.7inch),10μm分辨率
      系統真空指標
      抽真空時間系統冷卻前抽真空到10-3 Torr,需要20分鐘
      室溫真空度10-4Torr
      光學分辨率-顯微鏡
      7:1 Zoom4微米


      暫無評價

      產品詳情

            低溫真空探針臺的溫度變化范圍4.2K到475K,加低溫選件后,溫度可降低到1.5K,加入高溫選件,可提供的溫度變化范圍:20K-675K。系統需要使用液氦或液氮實現變溫,防輻射屏大大降低了黑體輻射,提高了制冷效率。冷頭上安裝兩個加熱器,減小了樣品的溫度梯度,加上防輻射屏上的加熱器,整個系統可以實現快速的變溫。

            低溫真空探針臺最多具有6個可以進行微調整的探針臂,每個探針臂上的探針都可以進行3維方向上的定位。專用的探針根據尺寸和材料不同,分為多種類型,探針減少了熱質量,優化了和器件的電接觸性。每個探針都直接和冷頭進行導熱,這樣就減小了探針對樣品的熱傳遞。

        ●    系統可使用液氮或液氦制冷,基本系統溫度范圍:4.2 K to 475 K

        ●      加入溫度選件,溫度范圍可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K

        ●      樣品臺可進行面內±5°旋轉

        ●      測量DC到67GHz

        ●      ***測試樣品尺寸51mm直徑

        ●      最多可使用6個探針臂

        ●      探針臂傳上安裝溫度感器進行溫度監測

        ●      可提供Load-lock選件

        ●      控溫穩定性:±50mK

        ●      探針臂3軸方向可調節,并可進行面內±5°旋轉

        ●      采用高真空選件,系統真空度可達到10-7 torr

        ●      電纜、屏蔽和Guard保護進一步減少了電噪聲和熱輻射損失

        ●      可提供不同的選件和附件來滿足特定的科研測試需要


      技術參數

      低溫真空探針臺技術參數

      溫度
      溫度范圍標準溫度范圍:4.2K到475K

      低溫選件溫度范圍:1.7K-400K或2K-400K

      高溫選件溫度范圍:20K到675K
      溫度穩定性±50mK
      系統降溫時間
      室溫到10K以內30分鐘
      室溫到1K以內且輻射防護屏達到穩定1小時15分鐘
      加熱器溫度控制
      樣品臺50W
      輻射防護屏2個100W和1個50W
      探針臂只監視溫度
      探針臂行程及分辨率
      X軸51mm(2inch),20μm分辨率
      Y軸25mm (1inch),10μm分辨率
      Z軸18mm (0.7inch),10μm分辨率
      系統真空指標
      抽真空時間系統冷卻前抽真空到10-3 Torr,需要20分鐘
      室溫真空度10-4Torr
      光學分辨率-顯微鏡
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